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国内在90年代也有人研制了石英真空计，所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡，自跟踪电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。 很近我们研制的DL-10A型石英真空计采用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。目前已有石英真空计产品，

例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压。其优点为：传感器体积小，耗电功率小（约1W），精度较高（约10%），量程较宽（10-1~105Pa）等。

PART 01工作原理

石英晶振在谐振时，其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关，二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高，但测量范围较窄，它可以用作标准真空计或应用于要求精度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽，可达0.1-105Pa，适合做工作用真空计。晶振在谐振时，同时自身也存在机械振动，振动时将受气体阻力，阻力的大小与气体压强有关，因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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inficon真空计(表)在市场有很多家地下作坊，他们没有检测设备，不懂压缩球容积跟测量毛细管之间的匹配关系，只是一味的照葫芦画瓢，数据和真实值相差甚远，由于很多用户本来就不知道真空测量的理论，以为只要是inficon真空计测量出来的数据就是对了，

殊不知与真实的数据相差很大，大部分测量的数据都是偏小的，因为他们只知道把压缩球泡缩小就能省点，能省下很多的钱，在网上可以说98%的inficon真空表都是假货或者称产品，不信的客户可以请他们送上海市计量测试研究院进行检测。

在这里我要为我们的inficon真空仪表 做一次宣传广告，我们公司的产品是经过好几个检测环节 很后上测试系统进行出厂检测，合格了才准予销售的，可经得起计量院检测的， 很后我奉劝需要购买的用户不要贪图便宜，因为这网上的便宜的inficon真空表确实不是好产品！

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分子泵的基本原理由是使用汽体分子结构和快速活动的电机转子相互之间撞击而将空气分子结构带出系统软件外。汽体分子结构撞击到定子的表层反跳后，可能在其原先的热分子结构速率以外得到一部分与电机转子表层健身运动方位平行面的附加速率。为了防止分子结构间的影响而使健身运动速率降低，真空磁导率的间距一定超过叶面间的间距。就要一个前面泵联接在分子泵的上下游以保证分子泵内颗粒相对密度充足的小。

inficon真空涡轮增压分子泵优异的主要表现是由于：

■汽体缩小高，气总流量大

■前面工作压力高

■集成式推动模块和制冷系统

■高抽速：10-2,000l/s

气动隔膜泵由传动系统一部分和膈膜缸头两绝大多数构成。根据旁通阀把汽体引进腔室随后传送到出阀门排出来汽体。

在这里运用标准下，泵的很终工作压力可达70hPa，抽速很高可贴近10m3/h。

inficon真空气动隔膜泵的优点：

■干泵隔膜真空泵

■脉冲阻尼器坚固耐用

■振动低，噪声轻

■高可靠性

■便于维护保养

inficon真空的校准泵组广泛运用于各种各样生产过程中，并给予靠谱和的真空度测量。

inficon真空校准泵组品牌优势一览：

■比外界校准价格便宜

■合乎中国和国际性的规范

■携带式线上校准

■可几台机器设备同歩校准

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